• China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV,中國之精 But Limited to Research Applications, Not Mass Production

（首圖來源：中國杭州人民政府）

延伸閱讀：

• 中媒：中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

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。曝光

浙江大學余杭量子研究院研發的機羲近 100kV 電子束（EBL）曝光機「羲之」，

中國受美國出口管制影響，度逼

外媒報導，難量但由於採用「逐點書寫」（point-by-point writing）──電子束必須像筆逐點描繪電路圖案──因此製作一片晶圓需要更長時間，【代妈公司】中國之精使麒麟晶片性能提升有限。曝光良率不佳。機羲近代妈机构有哪些華為也被限制在 7 奈米製程 ，度逼號稱性能已能媲美國際主流設備 ，難量中國正積極尋找本土化解方。代妈公司有哪些並透過多重圖案化技術（multiple patterning）推進製程，「羲之」定位精度可達 0.6 奈米，【代育妈妈】何不給我們一個鼓勵

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