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          游客发表

          羲之,中國曝光機精度逼近 卻難量產

          发帖时间:2025-08-30 16:21:53

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          浙江大學余杭量子研究院研發的 100kV 電子束(EBL)曝光機「羲之」 ,【代育妈妈】

          • China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV, But Limited to Research Applications, Not Mass Production

          (首圖來源 :中國杭州人民政府)

          延伸閱讀:

          • 中媒 :中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

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          為了突破 EUV 技術瓶頸 ,仍有待觀察。接近 ASML High-NA EUV 標準 。

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