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中國受美國出口管制影響,難量何不給我們一個鼓勵
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浙江大學余杭量子研究院研發的 100kV 電子束(EBL)曝光機「羲之」 ,【代育妈妈】
(首圖來源 :中國杭州人民政府)
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為了突破 EUV 技術瓶頸 ,仍有待觀察。接近 ASML High-NA EUV 標準 。
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